膜厚測定装置　東朋テクノロジー

Toho Technology

光干渉式膜厚測定装置 TohoSpec3100、3100T

商品概要

TohoSpec3100/3100Tは、ナノメトリクス社より技術移管された光干渉式膜厚測定装置です。
多数の納入実績を誇る業界標準機で、測定再精度2Å以下を実現、リニアアレー受光素子を採用しています。

高信頼性、高精度、高速をコンセプトとしており、多層膜同時測定や光学定数（n,k）測定に利用可能なモデルです。

商品特長

大学や企業の研究所など、最先端のR&D分野において利用出来る特徴を兼ね備えています。

  • スペクトル解析ソフトにより、多層膜（通常３層まで）の同時測定,光学定数（n,k）の測定が可能。
  • 各種膜特性に適合したパラメータの設定ができ、より豊富な各種膜構造の膜厚測定が可能。
  • プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能。
  • 米国マイクロソフト社のWindows ®10対応
TohoSpec 3100

基本仕様

型　　式 3100（標準ヘッド） 3100T（高感度高分解能ヘッド）
測定プログラム 基板材質を選ばず多層膜（通常 3 層膜まで）の測定が可能
測定波長範囲 380 ～ 800nm 380 ～ 850nm
膜厚測定範囲 100Å～ 30μm （膜種による） 100Å～ 70μm （膜種による）
測定再現精度 2Å［同一ポイント15回測定時の1σ］（膜種による）
測定時間 0.1 ～ 2.5秒／1ポイント 0.01 ～ 2.5秒／ 1 ポイント
対物レンズ（スポットサイズ） 5倍（φ50μm） 5倍（φ15μm）
対物レンズ オプション 10倍（φ25μm）・50倍（φ5μm） 10倍（φ7.5μm）・50倍（φ1.5μm）・100倍（φ0.75μm）
装置構成 可視光、フォログラフィック凹面回折格子、リニアアレー素子